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製品情報 装置事業部
精密空調シリーズ

お客様のニ−ズに合わせたカスタム製品を承っております。また、お客様の装置内気流解析も行っておりますのでご相談下さい。多くの実績に基づいた製品をご提案します。

■システムの特徴

供給風量能力
  1.0m3/min〜65m3/min
温調範囲
  20℃〜27℃
温度制御精度
  ±0.1℃
湿調範囲
  40%RH〜50%RH
湿度制御精度
  ±0.3%RH
海外安全規格
  SEMI・CE・Rohs等の規格対応が可能。
通信   各種通信仕様対応が可能。
その他   ユ−スポイント制御方式にて高精度な制御精度を実現しています。
クラス100までのクリ−ン度に対応しています。

■製品のラインナップ

□タイプA供給風量
1.0m3/min
  〜3.6m3/min
440(W)×950(D)×800(H)
水冷式冷凍機(R-404a)
□タイプB供給風量
3.7m3/min
  〜14.8m3/min
650(W)×950(D)×1493(H)
水冷式冷凍機(R-407c)
T&H ESA 4・6・8シリーズ
□タイプC供給風量
15.0m3/min
 〜 35.0m3/min
700(W)×950(D)×1720(H)
水冷式冷凍機(R-407c)
□タイプD供給風量
35.0m3/min
 〜 65.0m3/min
990(W)×990(D)×2000(H)
水冷式冷凍機(R-407c)